ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА В ВИДЕ КРУГЛОЙ МЕМБРАНЫ С ЦЕЛЬЮ ПОВЫШЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ И СНИЖЕНИЯ ПОГРЕШНОСТИ ЛИНЕЙНОСТИ ВЫХОДНОГО СИГНАЛА 

Елизавета Анатольевна Рыблова, аспирант, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: Elizaveta.ryblova@mail.ru
Вадим Сергеевич Волков, кандидат технических наук, доцент, доцент кафедры приборостроения, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: vadimv_1978@mail.ru 

Актуальность и цели. Целью исследования является разработка полупроводникового чувствительного элемента для датчика давления на основе тензорезистивного эффекта в виде профилированной мембраны с повышенной чувствительностью и сниженной погрешностью линейности выходного сигнала. Материалы и методы. Проведено имитационное моделирование чувствительного элемента в виде профилированной мембраны в программном пакете COMSOL Multyphisics для определения геометрических параметров сечения кремниевой мембраны, обеспечивающих оптимальное соотношение чувствительности и погрешности линейности выходного сигнала. Результаты. Создана имитационная модель полупроводникового чувствительного элемента датчика давления, позволяющая повысить чувствительность и снизить погрешность линейности выходного сигнала. Выводы. Таким образом, на основе проведенного моделирования были определены оптимальные геометрические параметры сечения профилированной мембраны полупроводникового тензопреобразователя давления мембранного типа. 

Ключевые слова

полупроводниковый чувствительный элемент, кремниевая мембрана, повышение чувствительности, погрешность линейности 

 Скачать статью в формате PDF

Для цитирования:

Рыблова Е. А., Волков В. С. Оптимизация параметров полупроводникового чувствительного элемента в виде круглой мембраны с целью повышения чувствительности и снижения погрешности линейности выходного сигнала // Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. 2022. № 1. С. 73–79. doi:10.21685/2307-5538-2022-1-9