АНАЛИЗ СВОЙСТВ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫХ ПЛЕНОК «ХРОМ-НИКЕЛЬ», СИНТЕЗИРОВАННЫХ РАСПЫЛЕНИЕМ ИЗ НЕЗАВИСИМЫХ ИСТОЧНИКОВ 

Тимаков Сергей Владимирович, заместитель главного технолога, Научно-исследовательский институт физических измерений (Россия, г. Пенза, ул. Володарского, 8/10),info@niifi.ru
Хошев Александр Вячеславович, кандидат технических наук, инженер, Научно-исследовательский институт физических измерений (Россия, г. Пенза, ул. Володарского, 8/10), info@niifi.ru
Макушкин Денис Евгеньевич, регулировщик радиоэлектронной аппаратуры и приборов, Научно-исследовательский институт физических измерений (Россия, г. Пенза, ул. Володарского, 8/10),  info@niifi.ru
Храмов Андрей Сергеевич, регулировщик радиоэлектронной аппаратуры и приборов, Научно-исследовательский институт физических измерений (Россия, г. Пенза, ул. Володарского, 8/10), info@niifi.ru

 681.586.712.019.3

Актуальность и цели. Предложен метод уменьшения температурной погрешности в металлопленочных датчиках давления. Целью работы является снижение негативного влияния температуры на чувствительный элемент датчиков давления. Стоит задача получения тензорезистивной пленки с минимальным температурным коэффициентом сопротивления (ТКС).
Материалы и методы. Реализация процесса происходит путем магнетронного распыления из раздельных источников. При этом в качестве напыляемого вещества могут использоваться как чистые материалы, так и соединения и сплавы определенного содержания. Величина ТКС при этом сильно зависит от температуры, при которой происходит процесс напыления тензорезистивных пленок «никель-хром».
Результаты. Предложен метод напыления тензорезистивных пленок на подложку для тонкопленочных чувствительных элементов, представляющий собой качественный подход для уменьшения ТКС под воздействием внешних факторов.
Выводы. Предложенный метод напыления позволяет при практическом использовании получить максимальный технический эффект при решении технических задач по уменьшению ТКС в тонкопленочных датчиках давления. Показана конструктивность и практическая применимость данного метода и указаны перспективные пути его совершенствования.

Ключевые слова

температурная погрешность, микроэлектромеханическая система, диффузия, рентгено-флоуресцентный спектральный анализ.

 Скачать статью в формате PDF

1. Двухканальная система управления технологическими режимами синтеза тензорезистивных пленок / С. В. Тимаков, И. Н. Чебурахин // Датчики и системы-2011 : материалы Междунар. науч.-техн. конф. – Пенза : АО «НИИФИ». – С. 74–76.
2. Рентгено-флюроаресцентный анализатор сплавов на рентгеновской трубке Х-МЕТ-3000ТА. Техническое описание.
3. Совершенствование тензорезисторных тонкопленочных датчиков давления / Е. А. Мокров, Д. В. Лебедев, В. П. Базаев, Е. В. Ефремов, И. А. Семина, П. А. Колчин // Мир измерений. – 2008. – № 4. – С. 41–46.
4. Метод уменьшения температурной погрешности в микроэлектромеханической системе
датчика / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев, Ю. А. Козлова // Современные научные исследования и инновации. – 2011. – № 8. – С. 15–23.
5. Белозубов, Е. М. Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника. – 2009. – № 2. – С. 23–26.