МЕТОДЫ ОБЕСПЕЧЕНИЯ СТАБИЛЬНОСТИ ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР МЕТАЛЛОПЛЕНОЧНЫХ ДАТЧИКОВ
ДЛЯ РАКЕТНО-КОСМИЧЕСКОЙ И АВИАЦИОННОЙ ТЕХНИКИ 

Петр Григорьевич Михайлов, доктор технических наук, профессор, профессор кафедры информационно-измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: pit_mix@mail.ru
Алексей Петрович Михайлов, начальник группы, ООО «Газпромнефть–Цифровые решения» (Россия, г. Санкт-Петербург, ул. Киевская, 5, корп. 4), E-mail: krendeleshik@gmail.com
Илья Николаевич Пасхин, аспирант, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: Iluha1.1000@mail.ru
Андрей Равильевич Ахметов, заместитель генерального директора, ООО НПЦ «КИТ» (Россия, г. Пенза, ул. Кустодиева, 23), E-mail: icmus@mail.ru
Евгений Дмитриевич Фадеев, независимый исследователь (Россия, г. Москва), E-mail: mercenary.exe@gmail.com

Актуальность и цели. Рассматривается разработка конструктивно-технологических методов обеспечения временной и параметрической стабильности пленок и пленочных структур, формируемых на металлопленочных датчиках физических величин. Актуальность изложенных материалов состоит в том, что именно от стабильности резистивных пленок и пленочных структур зависит в большей степени стабильность датчиков. Цель – разработка воспроизводимых конструкций и технологий, обеспечивающих формирование стабильных по времени сенсорных элементов и структур. Материалы и методы. Достаточно подробно описаны предлагаемые конструкции полипленочных тензорезистивных структур различной конфигурации. Рассмотрены и проанализированы математические модели многослойных пленочных структур, определены номиналы тензорезисторов и методы их минимизации температурных коэффициентов резистивных структур. Результаты и выводы. В результате проведенных исследований в области разработки методов регулирования и поддержания временной и параметрической стабильности характеристик датчиков определены конструкции полипленочных структур и методы их формирования. В частности, было достигнуто повышение точности и постоянства электрофизических характеристик чувствительных элементов и измерительных модулей на 30–40 % по сравнению с известными российскими датчиками.

Ключевые слова

стабильность, пленка, тензорезистор, датчик, давление, температура, чувствительный элемент

 Скачать статью в формате PDF

Для цитирования:

Михайлов П. Г., Михайлов А. П., Пасхин И. Н., Ахметов А. Р., Фадеев Е. Д. Методы обеспечения стабильности пленочных структур металлопленочных датчиков для ракетно-космической и авиационной техники // Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. 2024. № 4. С. 46–57. doi: 10.21685/2307-5538-2024-4-6