АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР 

Екатерина Анатольевна Печерская, доктор технических наук, профессор, заведующий кафедры информационно-измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: iit@pnzgu.ru
Олег Валентинович Карпанин, заведующий службой калибровки и ремонта, кафедра информационно-измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: karpanino@mail.ru
Диана Евгеньевна Тузова, студентка, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: diana.tuzova.02@bk.ru
Михаил Александрович Нелюцков, магистрант, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: nelyuckovmihail@mail.ru
Александр Александрович Данилов, доктор технических наук, профессор, директор, Пензенский центр стандартизации, метрологии и сертификации (Россия, г. Пенза, ул. Комсомольская, 20), E-mail: aa-dan@mail.ru
Дмитрий Владимирович Артамонов, доктор технических наук, профессор, первый проректор, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: dmitrartamon@yandex.ru 

Актуальность и цели. Структуры на основе полупроводниковых материалов находят широкое применение в устройствах нано- и микроэлектроники. Одно из перспективных направлений связано с получением и исследованием прозрачных проводящих пленок и структур на их основе. Целью данного исследования является разработка автоматизированной информационно-измерительной системы для измерения вольт-амперных характеристик полупроводниковых структур. Материалы и методы. Информационно-измерительная система предназначена для исследования вольт-амперных характеристик различных полупроводниковых структур, в том числе прозрачных проводящих покрытий, полученных методом спрей-пиролиза на стеклянных подложках. Результаты. Представлена структура измерительного блока автоматизированной информационно-измерительной системы, в состав которой входят каналы измерения напряжения и силы тока на исследуемой структуре, а также термокамера, что позволяет исследовать температурные зависимости электрических параметров полупроводниковых компонентов. Выводы. Изложена методология измерений вольт-амперных характеристик полупроводниковых структур, которая апробирована при исследовании прозрачных проводящих покрытий, синтезированных на основе спрей-пиролиза. Автоматизация измерительных процедур позволила достичь снижения временных затрат на измерительный процесс и исключения субьективных составляющих погрешностей измерений. 

Ключевые слова

автоматизированные измерения, информационно-измерительная система, вольт-амперная характеристика, полупроводник 

 Скачать статью в формате PDF

Для цитирования:

Печерская Е. А., Карпанин О. В., Тузова Д. Е., Нелюцков М. А., Данилов А. А., Артамонов Д. В. Автоматизированная информационно-измерительная система для измерения вольт-амперных характеристик полупроводниковых структур // Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. 2024. № 3. С. 41–46. doi: 10.21685/2307-5538-2024-3-5