ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ПАКЕТНОЙ ИМПУЛЬСНО-ТОКОВОЙ СТАБИЛИЗАЦИИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ
ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ 

Чебурахин Игорь Николаевич, начальник цеха микроэлектроники, Научно-исследовательский институт физических измерений (Россия, г. Пенза, ул. Володарского, 8/10), niifi@sura.ru

 537.39

Актуальность и цели. Импульсная обработка повышенными электрическими нагрузками позволяет проводить структурирование (стабилизацию) резистивного слоя, осуществлять юстировку (подгонку) величины сопротивлений резисторов до требуемого номинального значения. Разработка специализированного оборудования,  позволяющего проводить пакетную импульсно-токовую обработку тонкопленочных тензорезисторов (ТР), является актуальной задачей.
Материалы и методы. Оборудование разработано на основе следующих принципов: обработка тонкопленочных ТР пакетом электрических импульсов; выбор параметров стабилизирующих электрических импульсов так, чтобы нагрев тонкопленочных ТР за время импульса не достигал температуры интенсивного окисления; выбор параметров электрических импульсов подгонки так, чтобы нагрев тонкопленочных ТР за время импульса не достигал температуры диффузии резистивного и диэлектрического изолирующего тонкопленочных слоев; необходимость за вершения всех происходящих в ТР процессов за время паузы между импульсами; котроль параметров ТР в паузах между пакетами импульсов; проведение обработки на воздухе при нормальных климатических условиях.
Результаты. Описана структурная схема и работа устройства. Рассмотрена последовательность операций при стабилизации и подгонке сопротивления тензорезисторов.
Выводы. Использование разработанной системы упрощает настройку датчиков и повышает их температурную стабильность.

Ключевые слова

тензорезистор, стабилизация, подгонка, пакетная импульсно-токовая обработка.

 Скачать статью в формате PDF

1. Волохов, И. В. Опыт разработки технологии тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления / И. В. Волохов, Ю. А. Зеленцов // Приборы и системы управления. –1990. – № 10. – С. 41–42.
2. Волохов, И. В Технологические приемы достижения долговременной стабильности чувствительных элементов металлопленочных датчиков силы НВ-005 / И. В. Волохов, Д. В. Попченков // Датчики и детекторы для АЭС «ДДАЭС-2004 : сб. докладов науч.- техн. конф. – Пенза, 2004. – С. 244–247.
3. Волохов, И. В. Импульсная токовая обработка тензосхемы / И. В. Волохов, Е. В. Песков, В. В. Корнев // Искусственный интеллект. – 2001. – № 3. – С. 607–612.
4. Фоменко, П. А. Импульсная отбраковка резисторов со скрытыми дефектами резистив ного слоя / П. А. Фоменко // Электронная техника. Сер. III, Микроэлектроника. – 1973. – Вып. 2 (42). – С. 58–60.
5. Чебурахин, И. Н Способ повышения стабильности тонкопленочных тензорезисторов / И. Н. Чебурахин, П. А. Колосов // Датчики и системы. – 2012. – № 10. – С. 23–25.
6. Волохов, И. В Опыт применения новых технологических методик для повышения стабильности параметров тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления, используемых в РКТ / И. В. Волохов, П. А. Колосов, И. Н. Чебурахин // Труды Международ ного симпозиума Надежность и качество. – 2011. – Т. 2. – С. 414–418.
7. Кандыба, П. Е. Импульсная юстировка величины сопротивления тонкопленочных резисторов / П. Е. Кандыба, П. А. Фоменко // Электронная техника. Сер. III, Микроэлек троника. – 1972. – Вып. 6 (40). – С. 56–61.