КОМПЕНСАЦИЯ ТЕМПЕРАТУРНОЙ ЗАВИСИМОСТИ РЕЗИСТОРОВ НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО АЛМАЗА ДЛЯ ДАТЧИКОВ ФИЗИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН, ЭКСПЛУАТИРУЮЩИХСЯ В ЭКСТРЕМАЛЬНЫХ УСЛОВИЯХ

Цыпин Борис Вульфович, доктор технических наук, профессор, кафедра информационно-измерительной техники, Пензенский государственный университет, cypin@yandex.ru
Терехина Анастасия Валерьевна, аспирант, Пензенский государственный университет, anastacia.terekhina @gmail.com
Пена Дмитрий Владимирович, аспирант, Пензенский государственный университет,
distorsion@rambler.ru
Трофимов Алексей Анатольевич, доктор технических наук, доцент, кафедра информационно-измерительной техники, Пензенский государственный университет, distorsion@rambler.ru
Волков Вадим Сергеевич, кандидат технических наук, доцент, кафедра приборостроения,
Пензенский государственный университет, distorsion@rambler.ru
Баринов Илья Николаевич, кандидат технических наук, доцент, кафедра информационно-измерительной техники, Пензенский государственный университет, mzungu@inbox.ru

621.3.032

Описано применение поликристаллических алмазных пленок для создания высокотемпературных полупроводниковых датчиков давления. Рассмотрены способы аппроксимации температурной зависимости коэффициента тензочувствительности алмазной пленки полиномами различных порядков. Предложен способ компенсации температурной зависимости тензочувствительности датчика, учитывающий разброс параметров тензорезисторов из поликристаллического алмаза.

Ключевые слова

пленка поликристаллического алмаза, чувствительный элемент, высокотемпературный датчик давления, температурная зависимость коэффициента тензочувствительности.

 Скачать статью в формате PDF

1. Баринов, И. Н. Высокотемпературные датчики давления на основе поликристаллического алмаза. Состояние разработок и тенденции развития / И. Н. Баринов, В. С. Волков // Датчики и системы: методы, средства и технологии получения и обработки измерительной информации (Датчики и системы – 2012) : тр. Междунар. науч.-техн.конф. с элементами науч. школы для молодых ученых (г. Пенза, 22–26 октября 2012 г.) / под ред. Е. А. Ломтева, А. Г. Дмитриенко. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2012. –
С. 91–93.
2. Баринов, И. Н. Высокотемпературные полупроводниковые датчики давления с повышенной временной стабильностью / И. Н. Баринов, В. С. Волков // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. – 2011. – № 8. – С. 51–55.
3. CVD Diamond for Electronic Devices and Sensors // John Wiley & Sons, Ltd, 2009.
4. Ральченко, В. CVD-алмазы. Применение в электронике / В. Ральченко, В. Конов // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. – 2007. – № 4. – С. 58–67.
5. Yamamoto, А. Evaluation of diamond gauge factor up to 500 °C / A. Yamamoto, N. Norio, T. Takahiro // Western Industrial Research Institute of Hiroshima Prefecture, 2-10-1 Agaminami Kure 737-0004, Japan.
6. Волков, В. С. Использование системы Simulink при имитационном моделировании высокотемпературных полупроводниковых датчиков давления / В. С. Волков, И. Н. Баринов // Приборы. – 2011. – № 7. – С. 50–55.
7. Kulha, P. Piezoresistive Sensor for Strain Measurement on Turbine Blade with Wireless Telemetry Data Acquisition International / P. Kulha, M. Husak // Conference on Renewable Energies and Power Quality (ICREPQ’11) Las Palmas de Gran Canaria (Spain), 13th to 15th April, 2010.
8. Виглеб, Г. Датчики. Устройство и применение / Г. Виглеб. – М. : Мир, 1989. – 280 с.
9. Орнатский, П. П. Теоретические основы информационно-измерительной техники / П. П. Орнатский. – Киев : Вища школа, 1985. – 432 с.