МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ГАЗОВ В РАЗЛИЧНЫХ УСЛОВИЯХ НА ОСНОВЕ ПОВЕРХНОСТНОГО МЕХАНИЧЕСКОГО НАПРЯЖЕНИЯ

Кудрявцева Дарья Александровна, инженер-технолог, Научно-исследовательский институт физических измерений, dashuliy2308@yandex.ru

697.1

Статья посвящена сравнительному анализу тензорезистивного и оптического методов измерения параметров газов в различных условиях. Показано преимущество тензорезистивного метода мембранного сенсора поверхностного напряжения по сравнению с традиционно применяемыми оптическими методами.

Ключевые слова

мембранный сенсор поверхностного напряжения, наномеханические сенсоры, чувствительность.

 Скачать статью в формате PDF

1. Микроэлектронные датчики физических величин на основе МЭМС-технологий / С. А. Козин, А. В. Федулов, В. Е. Пауткин, И. Н. Баринов // Компоненты и технологии. − 2010. − № 1. − С. 24–27.
2. Баринов, И. Н. Датчики давления на основе резонансного преобразователя с повышенной временной стабильностью метрологических и эксплуатационных характеристик / И. Н. Баринов, В. С. Волков, Н. И. Баринов // Датчики и системы. – 2012. – № 10. – С. 6–9.
3. Волков, В. С. Полупроводниковые датчики давления на основе резонансного преобразователя / В. С. Волков, И. Н. Баринов // Приборы. – 2012. – № 7. – С. 9–13.
4. Волков, В. С. Исследования диагностических моделей интеллектуальных полупроводниковых датчиков давления / В. С. Волков, И. Н. Баринов, Б. В. Цыпин // Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. – 2012. – № 2. – С. 39–45.
5. Баринов, И. Н. Использование системы Simulink при имитационном моделировании высокотемпературных полупроводниковых датчиков давления / И. Н. Баринов, В. С. Волков // Приборы. – 2011. – № 7. – С. 50–54.
6. Mukhopadhyay, R. Cantilever sensor for nanomechanical detection of specific protein conformations / R. Mukhopadhyay, V. V. Sumbayev // Nano Lett. – 2005. – № 12. – С. 238–239.
7. Баринов, И. Н. Состояние разработок и тенденции развития высокотемпературных тензорезистивных датчиков давлений на основе карбида кремния / И. Н. Баринов,
Б. В. Цыпин // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. − 2010. − № 11. − С. 50–60.
8. Genki Yoshikawa. Two Dimensional Array of Piezoresistive Nanomechanical Membrane Type Surface Stress Sensor(MSS) with Improved Sensitivity / Genki Yoshikawa, Terunobu Akiyama // Sensors. – 2012. – № 2 (11). – С. 32–39.
9. Observation of a chemical-reaction using a micromechanical sensor / J. K. Gimzewski, C. Gerber, E. Meyer, R. R. Schlittler // Chem. Phys. Lett. – 1994. – № 5–6. – С. 589–594.