МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ОБЪЕКТОВ ВЫСОКОГО КЛАССА ЧИСТОТЫ 

Кострикина Инна Анатольевна, кандидат технических наук, главный метролог, АО «НИИЭМП» (Россия, г. Пенза, ул. Каракозова, 44), E-mail: gmetr@niiemp.ru
Макаркин Леонид Алексеевич, магистрант, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: leonmakarkin@gmail.com 

620.179.118.2 

DOI

10.21685/2307-5538-2019-1-7 

Актуальность и цели. Объектом исследования являются ситалловые подложки высокого класса чистоты. Предметом исследования являются способы измерения параметров шероховатости с малыми значениями Rz. Целью работы является разработка способа измерения шероховатости поверхности высокого класса чистоты путем применения профильной меры.
Материалы и методы. Для описания процесса измерения шероховатости использована Гауссова модель. Рассмотрен контактный метод измерения шероховатости.
Результаты. Предложен подход к реализации измерений шероховатости поверхностей высокой чистоты, основанный на применении эталонной меры шероховатости, позволяющий повысить чувствительность контактного метода измерения шероховатости профилометром.
Выводы. Метод измерений шероховатости поверхностей высокой чистоты позволяет повысить чувствительность стандартных профилометров. Предложенный метод измерения шероховатости за счет использования эталонной профильной меры шероховатости обеспечивает возможность измерения на поверхностях высокого класса чистоты применением стандартных профилометров среднего класса точности. 

Ключевые слова

объект исследования, ситалловые подложки, измерение шероховатости поверхности 

 Скачать статью в формате PDF

1. ГОСТ 2789–73. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики. 2. Уайтхауз, Д. Метрология поверхностей. Принципы, промышленные методы и приборы / Д. Уайтхауз. – Долгопрудный : Интеллект, 2009. – 472 с.
3. Невлюдов, И. Ш. Анализ методов контроля шероховатости подложек для изделий электронной техники / И. Ш. Невлюдов, И. В. Жарикова, И. Д. Перепелица, А. Г. Резниченко // Восточно-Европейский журнал передовых технологий. – 2014. – № 2/5 (68). – С. 25–29.
4. Егоров, В. А. Оптические и щуповые приборы для измерения шероховатости поверхности / В. А. Егоров. – Москва : Машиностроение, 1965. – 224 с.
5. Взаимозаменяемость, стандартизация и технологические измерения / под ред. А. Д. Никифорова. – Москва : Высш. шк., 2000. – 510 с.
6. Клепиков, В. В. Качество изделий / В. В. Клепиков, В. В. Порошин, В. А. Голов. – Москва : МГИУ, 2005.
7. Дунин-Барковский, И. В. Измерения и анализ шероховатости, волнистости и некруглости поверхности / И. В. Дунин-Барковский, А. Н. Карташова. – Москва : Машиностроение, 1978.
8. Чекмарев, А. А. Справочник по машиностроительному черчению / А. А. Чекмарев, В. К. Осипов. – Москва : Высш. шк., 2005.
9. Основы технологии машиностроения : учебник для вузов / В. М. Кован, В. С. Корсаков, А. Г. Косилова ; под ред. В. С. Корсакова. – Изд. 3-е, доп. и перераб. – Москва : Машиностроение, 1977. – 416 с.
10. Технология машиностроения : в 2 т. Т. 1. Основы технологии машиностроения : учебник для вузов. – 2-е изд., стереотип. / В. М. Бурцев, А. С. Васильев, А. М. Дальский [и др.] ; под ред. А. М. Дальского. – Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. – 564 с.