СТРУКТУРА ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНОЙ И УПРАВЛЯЮЩЕЙ СИСТЕМЫ СИНТЕЗА ПРОЗРАЧНЫХ ПРОВОДЯЩИХ ОКСИДОВ 

Тимур Олегович Зинченко, аспирант, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: scar0243@gmail.com 

Актуальность и цели. Объектом исследования является информационно-измерительная и управляющая система синтеза прозрачных проводящих оксидов методом спрей-пиролиза. Предмет исследования – структура указанной информационно-измерительной и управляющей системы. Цель работы заключается в повышении управляемости синтеза прозрачных проводящих оксидов методом спрей-пиролиза, что достигается посредством разработки усовершенствованной информационно-измерительной управляющей системы синтеза прозрачных проводящих оксидов, ее аппаратного и программного обеспечения. Материалы и методы. Структурная схема информационно-измерительной и управляющей системы синтеза прозрачных проводящих оксидов содержит аппаратную и программную части. В частности, аппаратная часть состоит из блоков, необходимых для осуществления и управления процессом спрей-пиролиза, каналов измерения температуры подложки (на основе применения термопары) и электрофизических параметров синтезированных прозрачных проводящих оксидов (на основе четырехзондового метода). Результаты. Разработана структура информационно-измерительной и управляющей системы синтеза прозрачных проводящих оксидов. Проведены исследования поверхностного сопротивления прозрачных проводящих оксидов. Разработана структура канала измерения температуры подложки при выполнении процесса спрей-пиролиза. Выводы. Разработанная структура информационно-измерительной управляющей системы синтеза прозрачных проводящих оксидов позволяет решить следующие задачи: осуществлять выбор оптимальных технологических параметров формируемых покрытий; выполнять синтез покрытий посредством управления технологическим процессом; измерять температуру и электрофизические параметры прозрачных проводящих покрытий. 

Ключевые слова

структура информационно-измерительной и управляющей системы, измерительные каналы, поверхностное сопротивление, температура, спрей-пиролиз 

 Скачать статью в формате PDF

Для цитирования:

Зинченко Т. О. Структура информационно-измерительной и управляющей системы синтеза прозрачных проводящих оксидов // Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. 2023. № 2. С. 22–27. doi: 10.21685/2307-5538-2023-2-3