ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ АНОДНОГО СОЕДИНЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ
МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ 

Пауткин Валерий Евгеньевич, кандидат технических наук, главный специалист, Научно-исследовательский институт физических измерений (Россия, г. Пенза, ул. Володарского, 8/10), E-mail:gorvlad1@yandex.ru 

621.791.052 

DOI

10.21685/2307-5538-2019-2-11 

Актуальность и цели. Рассмотрены физико-химические основы формирования чувствительных элементов микромеханических акселерометров методами анодного соединения. Целью работы является анализ физических эффектов, приводящих к созданию неразъемного соединения деталей.
Материалы и методы. При рассмотрении данного вопроса использованы положения физической химии, физики твердого тела.
Результаты. Предложены рекомендации для улучшения процесса анодного соединения «кремний-стекло».
Выводы. Применение анодного соединения при сборке чувствительных элементов позволяет создавать датчики, отличающиеся малыми габаритами, высокими эксплуатационными характеристиками. 

Ключевые слова

анодное соединение, щелочное стекло, твердофазный электролиз, чувствительный элемент, датчик 

 Скачать статью в формате PDF

1. Дмитриенко, А. Г. Об исследовании возможности создания инерциальных модулей на основе отечественных технологий объемной микромеханики / А. Г. Дмитриенко, А. А. Папко, С. И. Торгашин, И. В. Кирянина // Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль. – 2013. – № 3 (5). – С. 45–53.
2. Мокров, Е. А. Акселерометры НИИ Физических Измерений – элементы микросистемотехники / Е. А. Мокров, А. А. Папко // Микросистемная техника. – 2002. – № 1. – С. 3–9.
3. Аверин, И. А. Особенности формирования микроэлектромеханических элементов первичных преобразователей информации / И. А. Аверин, В. Е. Пауткин // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. – 2014. – № 2 (30). – С. 24–32.
4. Козин, С. А. Разработка технологии и специального оборудования для соединения кремния со стеклом в поле высокого напряжения / С. А. Козин, А. В. Федулов, В. Е. Пауткин // Датчики и системы. – 2005. – № 9. – С. 46–47.
5. Косогоров, В. М. Разработка технологии электростатического соединения многослойных стеклокремниевых структур / В. М. Косогоров, А. В. Федулов, В. Е. Пауткин // Датчики и системы. – 2000. – № 7. – С. 59–60.
6. Шелби, Дж. Структура, свойства и технологии стекла / Дж. Шелби ; пер. с англ. Е. Ф. Медведева. – Москва : Мир, 2006. – 288 с.
7. Atkinson, R. A simple theory of the Johnsen-Rahbek effect / R. Atkinson // Journal of Physics D: Applied Physics. – Vol. 2, № 3. – P. 325–333.