| Авторы |
Михайлов Петр Григорьевич, доктор технических наук, профессор, ведущий научный сотрудник, Пензенский государственный технологический университет (Россия, г. Пенза, ул. Байдукова/Гагарина 1а/11), Е -mail: pit_mix@mail.ru
Чиркина Марина Александровна, кандидат технических наук, доцент, кафедра информационно-вычислительных систем, Пензенский государственный университет архитектуры и строительства (Россия, г. Пенза, ул. Германа Титова, 28), Е-mail: chm-77@mail.ru
Сазонова Вера Петровна, сотрудница, Технологический университет (Россия, Московская обл., г. Королев, ул. Гагарина, 42), Е-mail: verochka.86@list.ru
Маринина Лариса Александровна, кандидат технических наук, преподаватель, Пензенский филиал Военной академии материально-технического обеспечения имени генерала армии А. В. Хрулева (Россия, г. Пенза, Военный городок, 1), Е -mail: pit_mix@mail.ru
Базарбай Лашын, докторантка, Казахский национальный технический университет им. К. Сатпаева (Казахстан, г. Алматы, ул. Сатпаева 22), Е -mail: lashyn_7754@mail.ru
|
| Аннотация |
Актуальность и цели. В связи с ростом потребности в чистых технологиях для микро-и наноэлектроники, которые можно провести только в атмосфере водорода – газа – восстановителя, необходимы средства контроля его применения для предотвращения утечек и взрывов водородных смесей, соответствующие технологии изготовления сенсоров водорода.
Материалы и методы. Следует отметить, что процессы изготовления чувствительных элементов водородных сенсоров (ЧЭВС) являются технологически очень сложными и трудоемкими процессами с недостаточно высоким выходом годных приборов, так как включают в себя несколько технологических платформ: тонкопленочную, твердотельную и микромеханическую. При проведении технологических операций (ТО) по формированию структур ЧЭВС используется сложное, дорогостоящее оборудование, включая магнетронные и электронно-лучевые напылительные установки, реакторы для газофазного осаждения поликремния, нитрида кремния и двуокиси кремния, установки ионного легирования, диффузионные печи.
Результаты. Разработаны и апробированы при изготовлении экспериментальных образцов специальные ТО и ТП формирования водородочувствительных элементов сенсоров.
|
| Список литературы |
1. Нанотехнологии в электронике / под ред. Ю. А. Чаплыгина. – Москва : ТЕХНОСФЕРА, 2015. – Вып. 3. – 480 с.
2. Вавилов, В. Д. Микросистемные датчики физических величин : монография / В. Д. Вавилов, С. П. Тимошенков, А. С. Тимошенков. – Москва : ТЕХНОСФЕРА, 2018. – 471 с.
3. Патент RU 1785049 СССР. Способ изготовления датчиков водорода на МОП-транзисторах / Л. А. Маринина, С. А. Козин ; МКИ: H01L 21/336 ; опубл. 30.12.90.
4. Айнспрук, Н. Плазменная технология в производстве СБИС / Н. Айнспрук, Д. Браун. – Москва : Мир, 1987. – 471 с.
5. Kumar, A. Fabrication of porous silicon filled Pd/SiC nanocauliflower thin films for high performance H2 gas sensor / A. Kumar, A. Kumar, R. Chandra // Sens. Actuators B Chem. – 2018. – Vol. 264. – Р. 10–19.
6. Integrated Temperature and Hydrogen Sensors with MEMS Technology / H.-C. Jiang, M. Huang, Y.-B. Yu, X.-Y. Tian et. all // Sensors. – 2018. – Vol. 18. – P. 94.
7. Hübert, T. Hydrogen sensors – A review / T. Hübert, L. Boon-Brett, G. Black, U. Banach // Sensors and Actuators B Chemical. – 2011. – Vol. 157 (2). – Р. 329–352.
8. Основы золь-гель-технологии нанокомпозитов / А. И. Максимов, В. А. Мошников, Ю. М. Таиров, О. А. Шилова. – Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2007. – 273 с.
9. Распопов, В. Я. Микромеханические приборы / В. Я. Распопов. – Москва, 2007. – 400 с.
10. Волькенштейн, Ф. Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции / Ф. Ф. Волькенштейн. – Москва : Наука, 1987. – C. 431.
11. Öztürk, S. Pd thin films on flexible substrate for hydrogen sensor / S. Öztürk, N. Kılınç // J. Alloys Compd. – 2016. – Vol. 674. – Р. 179–184.
12. Михайлов, П. Г. Формообразование сенсорных элементов и структур микроэлектронных датчиков / П. Г. Михайлов // Новые промышленные технологии. – 2004. – № 2. – С. 67–69.
13. Multi-functional sensors for control systems and monitoring / P. Mikhailov, M. Baktybayev, Z. Bayasilova and all //International Journal of Mechanical Engineering and Technology (IJMET). – 2018. – Vol. 9, iss. 13. – P. 959–967.
14. Mikhajlov, P. G. Mathematical Modeling of Combined Sensor Information / P. G. Mikhajlov, Yu. N. Slesarev, V. A. Chulkov // Measuring Systems International Journal of Applied Engineering Research. – 2016. – Vol. 11, № 20. – P. 10332–10337.
15. Development of Technologies, Methods and Devices of the Functional Diagnostics of Microelectronic Sensors Parts and Components / K. A. Ozhikenov, P. G. Mikhailov, R. S. Ismagulova, Zh. K. Azamatova, B. N. Azamatov// 13th Intemati onal Scientific-Technical Conference on Actual Problems of Electronic Instrument Engineering (A PEIE). – 2016. – Vol. 1. – P. 84–90.
|
