ВОПРОСЫ СОЗДАНИЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ ДАТЧИКОВ МЕХАНИЧЕСКИХ ВЕЛИЧИН. МАТЕРИАЛЫ. КОНСТРУКЦИИ. ТЕХНОЛОГИИ

Михайлов Петр Григорьевич, доктор технических наук, профессор, кафедра управления информационными ресурсами, Пензенский филиал РГУ,  petr.mixsjlov.49@mail.ru
Мокров Евгений Алексеевич, доктор технических наук, профессор, кафедра приборостроения,
Пензенский государственный университет, kiltem-12@mail.ru
Скотников Валерий Владимирович, аспирант, Пензенский государственный университет,
sko_val@mail.ru
Тютюников Дмитрий Александрович, аспирант, Пензенский государственный университет,
tyutyunikov@mail.ru
Петрин Владимир Алексеевич, аспирант, Пензенский государственный университет
vlad.petrin@mail.ru

 621. 865. 8

Статья посвящена материаловедческим и конструктивнотехнологическим проблемам, которые возникают при создании высокотемпературных датчиков механических величин, в частности, статико-динамических давлений. Рассмотрены и выбраны функциональные материалы, используемые в полупроводниковых чувствительных элементах высокотемпературных датчиков. В качестве базового материала для чувствительных элементов предложен поликристаллический кремний.

Ключевые слова

высокотемпературный, монокремний, чувствительный элемент, функциональный материал, поликремний, алмаз, карбид кремния, модификация, пленка.

 Скачать статью в формате PDF

1. Соколов, Л. В. Основы исследования и разработки в области сенсорных МЭМС-устройств / Л. В. Соколов // SENSOR & SYSTEMS. – 1999. – № 3. – С. 13–17.
2. Михайлов, П. Г. Управление свойствами материалов сенсорных элементов микроэлектронных датчиков / П. Г. Михайлов // Микросистемная техника. – 2003. – № 5. – С. 7–11.
3. Bogue, R. W. The roul of materials in advansed sensor technology / R. W. Bogue // Sensor Review. – 1986. – № 4. – Р. 35–45.
4. Михайлов, П. Г. Модификация материалов микроэлектронных датчиков / П. Г. Михайлов //Приборы и системы. Управление. Контроль. Диагностика. – 2003. – № 5. – С. 43–46.
5. Модификация и легирование поверхности лазерными, ионными и электронными потоками / под ред. Дж. Поути. – М. : Машиностроение, 1987. – 390 с.
6. Михайлов, П. Г. Исследования по созданию высокотемпературных сенсорных элементов и структур / П. Г. Михайлов, П. Н. Цибизов, Л. А. Маринина // Микросистемная техника. – 2004. – № 8. – С. 38–44.