Статья 10313

Название статья

ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ С УМЕНЬШЕННОЙ ТЕМПЕРАТУРНОЙ ПОГРЕШНОСТЬЮ НА ОСНОВЕ
НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ И ЧАСТОТНЫХ ИНТЕГРИРУЮЩИХ
РАЗВЕРТЫВАЮЩИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ

Авторы

Васильев Валерий Анатольевич, доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой приборостроения, Пензенский государственный университет, opto@bk.ru
Громков Николай Валентинович, доктор технических наук, профессор, кафедры информационно-измерительной техники, Пензенский государственный университет, ngrom@bk.ru
Николаев Дмитрий Пименович, кандидат технических наук, доцент, высшая школа экономики,  dnikolaev@hse.ru
Сатыбалдыев Ораз Сатыбалдыевич, доктор физико-математических наук, заведующий кафедрой математики, Казахский национальный технический университет им. К. И. Сатпаева, oraz_55_55@mail.ru

Индекс УДК

621.7.08

Аннотация

Рассмотрены датчики давления на основе тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем с частотным выходным сигналом, устойчивые к воздействию температур. Представлены оригинальные схемы частотных преобразователей и топологии расположения тензоэлементов на мембране чувствительного элемента датчика.

Ключевые слова

датчики давления, тонкопленочные тензорезисторные НиМЭМС, температура, частотные преобразователи.

 Скачать статью в формате PDF

Список литературы

1. Belozubov, E. M. Thin-Film Nano- And Micro-Electromechanical Systems – The Basis Of Contemporary And Future Pressure Sensors For Rocket And Aviation Engineering / E. M. Belozubov, V. A. Vasil`ev, N. V. Gromkov // Measurement Techniques. – 2009. – V. 52, № 7. – P. 739–744.
2. Belozubov, E. M. Effect Of Thermal Shock On A Membrane-Type Transducer / E. M. Belozubov, V. A. Vasil’ev, D. A. Izmailov // Measurement Techniques. – 2009. – V. 52, № 2. – P. 155–160.
3. Belozubov, E. M. Minimization Of The Effect Of Temperature On Thin-Film Nano- And Microelectromechanical
Systems And Pressure Sensors Based On Them / E. M. Belozubov, V. A. Vasil`еv, N. V. Gromkov // Measurement Techniques. – 2009. – V. 52, № 8. – P. 853–858.
4. Громков, Н. В. Интегрирующие развертывающие преобразователи параметров датчиков систем измерения, контроля и управления : моногр. / Н. В. Громков. – Пенза : Изд-во ПГУ, 2009. – 244 с.
5. Пат. 1615578. Российская Федерация, 5G01L 9/04. Датчик давления / Белозубов Е. М. //
Б.И. № 47 от 23.12.90.
6. А. с. 1515081 СССР, МКИ G 01 L 9/04. Датчик давления / В. А. Васильев, Е. П. Осадчий, А. И. Тихонов // Б. И. № 38 от 15.10.1989.
7. Белозубов, Е. М. Тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы – основа современных и перспективных датчиков давления для ракетной и авиационной техники / Е. М. Белозубов, В. А. Васильев, Н. В. Громков // Измерительная техника. – 2009. – № 7. – С. 35–38.
8. Белозубов, Е. М. Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника. – 2009. – № 2. – С. 33–39.
9. Белозубов, Е. М. Перспективные тонкопленочные тензорезисторные датчики давления для ракетной и авиационной техники / Е. М. Белозубов // Измерительная техника. – 2004. – № 5. – С. 37.
10. Проектирование датчиков для измерения механических величин / под ред. Е. П. Осадчего. – М. : Машиностроение, 1979. – 480 с.
11. Пат. 2395060. Российская Федерация, Мки G 01 B 7/16. Частотный преобразователь сигнала разбаланса тензомоста с уменьшенной температурной погрешностью / В. А. Васильев, Н. В. Громков. – Бюл. № 20 от 20.07.2010.
12. Пат. 2398196. Российская Федерация, Мки G 01 L 9/04. Устройство для измерения давления с частотным выходом на основе нано- и микроэлектромеханической системы с частотным выходным сигналом / В. А. Васильев, Н. В. Громков. – Бюл. № 24 от 27.08.2010.

 

Дата создания: 29.01.2015 12:31
Дата обновления: 30.01.2015 08:50