МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫХ ПЛЕНОК 

Кучумов Евгений Владимирович, кандидат технических наук, старший научный сотрудник,
Научно-исследовательский институт физических измерений,  evgenii_kuchumov@mail.ru
Попченков Дмитрий Валентинович, начальник НИЛ 621, Научно-исследовательский институт
физических измерений, volohov@niifi.ru

 51.74

Предпринята попытка очертить круг явлений и законов, позволяющих в дальнейшем построить строгую математическую модель процесса напыления тонких пленок вакуумным испарением.

Ключевые слова

математическое моделирование, напыление тонких пленок, вакуумное испарение.

 Скачать статью в формате PDF

1. Технология тонких пленок : справочник / под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. – М. : Сов. радио, 1977. – Т. 1. – 664 с.
2. Кукушкин, С. А. Процессы конденсации тонких пленок / С. А. Кукушкин, А. В. Осипов // УФН. – 1998. – Т. 168, № 10. – С. 1083–1116.
3. Проценко, И. Е. Электрофизические свойства и диффузионные процессы в многослойных пленочных структурах / И. Е. Проценко // Тонкие пленки в оптике и электронике : сб. докл. 15-го междунар. симп. – 2003. – № 15. – С. 167–183.
4. Технология тонких пленок : справочник / под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. – М. : Сов. радио, 1977. – Т. 2. – 768 с.